磁傳感器廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)、生物醫(yī)療、國防軍事等領域。新興的磁電聲表面波(MSAW)傳感器不僅具有微型化、靈敏度高等優(yōu)點,而且天生繼承了聲表面波傳感器的優(yōu)勢,具有無源、無線讀取、測量范圍廣、維護方便等特點,是目前唯一的無源無線磁場傳感技術。因此,研究磁電聲表面波傳感器及其無線測試技術具有重要的意義。本論文的主要工作如下:首先,通過在SAW諧振器上依次沉積了 SiO2絕緣層、[FeCoSiB/SiO2]n磁致伸縮多層膜,制作了一種單端口諧振型磁電聲表面波傳感器。為了探究磁各向異性對磁聲響應的影響,采用不同方向的誘導磁場制作了三類MSAW傳感器,獲得了“蝴蝶型”和“迴線型”fR-H曲線,討論了誘導各向異性、形狀各向異性和垂直各向異性的相互競爭關系及對磁傳感特性的影響。其次,設計了一種與MSAW傳感器相匹配的無線問詢系統(tǒng)。該系統(tǒng)發(fā)射端采用DDS驅動鎖相環(huán)倍頻技術,倍頻信號由末端功率放大器進行放大,輸出窄帶脈沖信號。接收端采用下變頻解調(diào)結構,包括低噪聲放大器(LNA)、混頻器、鎖相環(huán)本振電路和ADC采樣電路。ADC采樣數(shù)據(jù)由基于FPGA設計的FFT算法模塊進行處理,提取差頻信號的頻率值。通過AD...

【文章頁數(shù)】：83 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－１基于ＬｉＮｂ０３延遲線的ＭＳＡＷ器件⑻７０?ＭＨｚ測試結果；（ｂ）?３階諧波測試結果口??

術極少應用于磁電ＳＡＷ的檢測，因此本文的研??究目標在于搭建高速、便攜測試的無線問詢系統(tǒng)。??１．２國內(nèi)外研究歷史與現(xiàn)狀??１．２．１磁電聲表面波傳感器??１９７５年，Ｋ．Ｇａｎｇｕｌｙ等人提出了在聲表面波器件延遲線表面沉積磁致伸縮薄??膜，通過外加磁場控制相速度，以實現(xiàn)磁傳感的....

圖１－２?Ｍｉｃｈｉｏ?Ｋａｄｏｔａ等人設計的（ａ）?ＭＳＡＷ器件結構；（ｂ）?３種叉指電極結構［２６】??

術極少應用于磁電ＳＡＷ的檢測，因此本文的研??究目標在于搭建高速、便攜測試的無線問詢系統(tǒng)。??１．２國內(nèi)外研究歷史與現(xiàn)狀??１．２．１磁電聲表面波傳感器??１９７５年，Ｋ．Ｇａｎｇｕｌｙ等人提出了在聲表面波器件延遲線表面沉積磁致伸縮薄??膜，通過外加磁場控制相速度，以實現(xiàn)磁傳感的....

圖１－５?ＡｌＮ／ＦｅＧａＢ雙層結構的ＭＥＭＳ諧振型磁場傳感器［２８］??

?第一章緒論???他們深入分析了不同方向的外部磁場與器件Ｑ值的關系，并且比較了采用??ＴｂＦｅ２電極的器件的性能，證明Ｎｉ電極ＭＳＡＷ器件磁敏性能優(yōu)于ＴｂＦｅ２電極的??ＭＳＡＷ器件［２６］，測試結果如圖１－３所示。????４００．????麵［??Ｂ，?４００???１側［一?一?....

圖１－３?（ａ）?ＭＳＡＷＱ值；（ｂ）Ｎｉ電極頻率－磁場曲線；（ｃ）?ＴｂＦｅ２電極頻率－磁場曲線［２６〗??

?第一章緒論???他們深入分析了不同方向的外部磁場與器件Ｑ值的關系，并且比較了采用??ＴｂＦｅ２電極的器件的性能，證明Ｎｉ電極ＭＳＡＷ器件磁敏性能優(yōu)于ＴｂＦｅ２電極的??ＭＳＡＷ器件［２６］，測試結果如圖１－３所示。????４００．????麵［??Ｂ，?４００???１側［一?一?....

本文編號：4047034